ソニーは2021年9月29日、2/3型で有効813万画素のUV波長域対応CMOSイメージセンサ「IMX487」を産業機向けに製品化することを発表した。(写真)

UV波長域に特化した構成部材や独自の受光部構造により、高いUV感度性能とノイズを抑えた高画質な撮像を可能にしている。UV波長域の中でも産業用の検査などに適した200nm〜400nmの波長に対応している。
また、画素がUV光を高効率に取り込むことで、高感度に加え、業界最小の2.74μm角の微細画素による小型・高解像度を実現した。さらに、独自の裏面照射型画素構造のグローバルシャッター機能(動体歪みの無い撮像を可能にする機能)を搭載した積層型CMOSイメージセンサ技術Pregius Sを採用し、歪みの無い、高い撮像性能と、毎秒193フレーム(10bitモード時)の高速性を兼ね備えることに成功している。
新製品は、従来からUVイメージセンサが活用されている半導体パターンの欠陥検査に加え、プラスチックなどのリサイクル現場でのUV光による素材選別や透明樹脂の塗布状態検査、部品表面の微細傷の検査、劣化した電線架線で発生する放電時のUV光検知など、さまざまな産業課題の解決に貢献する。