米Intel社は2021年8月9日、建設を進めているオレゴン州HillsboroのD1X工場の増設分Mod3への装置導入を開始したことを発表した。最初に導入されたのは薄膜形成装置である。薄膜形成装置は12台以上を導入する見通しである。2019年に建設を開始したMod3への投資額は30億米ドルで、今後6か月間で1,500台の装置を導入する予定である。これまでのIntelの典型的な工場での装置導入台数はおよそ1,200台程度であり、今回のMod3の投資が大規模であることが伺える。
Intelでは、このOregonの他に、米国ではArizona州のChandler、ニューメキシコ州のRio Rancho、海外でもアイルランド、イスラエル、コスタリカにおいて、工場の拡張、新設等を進めている。Chandlerには約200億米ドルを投じて前工程工場を2つ、Rio Ranchoには35億米ドルを投じて後工程工場を建設する計画である。