ローツェは2020年7月10日、2021年2月期第1四半期（2020年3月〜5月）業績を発表した。同期売上高は前年度比21.9％増の108億4,100万円となった。前年度同期に続いて前年度比20％以上の成長となった。営業利益は同11.5％減の19億200万円、営業利益は同5.9％減の15億7,100万円となった。
半導体・FPD関連装置事業は売上高が前年度同期比28.7％増の107億8,800万円（前年同期比23.7％増）、営業利益は同8.4％減の20億1,900万円となった。半導体関連装置は売上高が同21.9％増の80億1,400万円、受注高も2四半期連続で過去最高を更新した。受注残高も119億7,700万円に達している。半導体主要製造装置メーカー向けEFEMの売上増加、台湾ファンドリメーカ向けウェーハソータの売上増加が牽引した。
FPD関連装置の売上高は同65.6％増の19億3,600万円となった。韓国向け大口受注装置の一部納入が売り上げ増に貢献した。受注高は56億4,100万円、受注残高は85億9,400万円となった。
半導体関連装置の販売が引き続き好調に推移したことに加え、韓国子会社におけるFPD関連装置の大口受注、販売の影響により、連結売上高は前述のように大きな伸びを示した。一方、損益面ではＮ2パージ対応ウェーハストッカなど相対的に利益率の高い装置の販売構成比が一時的に低下したことにより売上原価を押し上げたため、前年同四半期期比で減益となった。
2021年2月期通期では、売上高459億500万円を計画している。