Al, Al-Cu , Al-Si, Cuなど各種金属で
2層配線やデイジーチェーンなど各デザインに対応します。

対応スペック

基板サイズ Φ2インチ～Φ300㎜
基板種類 Si / ガラス / 化合物基板 / その他
メタル種類 Al、Al-Cu、Al-Si、Cu、Auなど各種メタル
絶縁膜種類 P-TEOS、P-SiO、P-SiN、有機膜（PI・PBOなど）
パターンサイズ Min　L/S=1/1μm

実績写真

配線TEGパターンの実績写真

Al-PADデイジー配線

配線TEGパターンの実績写真

CuPAD配線

配線TEGパターンの実績写真

RDL配線