Cuピラーバンプ、Cu、SnAgバンプ、ボールバンプ形成が可能です。
応用技術で配線パターンやくし歯パターンも製作可能。UBM/メッキ用レジストパターンでの提供も可能です。

対応スペック

対応サイズ　8インチ,300mm

20μmバンプ構造 (Cuピラー）
トータルバンプ高さ 30μm (Cuピラー20μm,SnAg10μm)
バンプ径 φ20μm
ピッチ 40μm
PBO SiO2 (4μm or 6μm)
UBM Ti:200nm／Cu:150nm

20μmバンプ構造 (Niピラー）
トータルバンプ高さ 16μm (Niピラー5μm,SnAg11μm)
バンプ径 φ20μm
ピッチ 40μm
PBO SiO2 (4μm or 6μm)
UBM Ti: 200nm／Cu: 150nm

加工実績

ピラーバンプの加工実績画像

Cu/SnAg（φ20um)