2024年12月14日、先端半導体の国産化を目指すRapidusの工場内に設置される極端紫外線(EUV)露光装置を載せた貨物機の第1便がオランダから新千歳空港に到着した。同装置は蘭ASMLが製造するもので、国内に導入されるのは初めてとなる。

EUV露光装置は最先端半導体の量産に欠かせず、1台で数百億円かかる。Rapidusは同装置を将来的に複数台稼働させることを想定している。同社の試作ラインは2025年4月に稼働予定であり、今回到着した装置はそれに向けたものとなる。

空港関係者など数十人が見守る中、専用の車両により、少なくとも数十個の貨物が機体から降ろされ、トラックに積み込まれた。

同装置は12月中に複数回に分けて貨物機で新千歳空港に輸送され、工場に搬入される予定。Rapidusは来週にも会見を開き、詳細を明らかにするとしている。