VLSI Rearch社が半導体製造装置サプライヤの顧客満足度調査に基づくランキングの上位10社（10Best）を発表した。（表参照）
同ランキングは、世界中の半導体製造装置ユーザー(半導体工場エンジニアなど)に、技術的リーダシップ、、パートナーシップ、信頼性などの「サプライヤの実力」、アフターサービス、エンジニアリングサポート、「顧客サービス」、生産性、プロセス品質、稼働率などの「装置性能（ソフトウェア含む）」などの質問を行い、10点満点で評価したもの。採点結果を、9点以上に最高評価の星5つ、8点以上に星4つ、7点以上に星3つといった形で分類している。今回は、総合点で7点以上を獲得した大手装置メーカー（Laisorge10社と専門企業(“Fouesd” 売り上げ規模が比較的小さな中小企業)6社のランキング順位を公表している。

5つ星獲得企業は、Largeで米Teradyne、アドバンテスト、ASM、FocusedではPlsma Therm、AMEC。獲得ポイントでは、Teradyneが9.44でトップとなった。大手メーカも上位企業では、技術的リーダーシップ、パートナーシップなどが高い評価を受けている。ウェーハ工程用Fab向け装置については、トップがPlasma-Therm、10位がApplied Materials（AMAT）となった。

大手半導体メーカー（Foundation Chip Makers）向けの評価の上位6社と評価ポイント（（　）内）は以下の通り。1位ASML、2位Kokusai Electric（8.79）、3位Lam Research（8.79）、4位AMAT（8.18）、5位東京エレクトロン（7.98）、6位ニコン（7.28）。ASML以外は、全体評価を上回る結果となっている。