東京エレクトロンは2021年11月12日、2022年3月期第2四半期（2021年7月〜9月）および2021年度上期（2021年4月〜9月）業績を発表した。
2021年度第2四半期売上高は4,804億円で、前年度同期比6.3％増、前期比6.3％増となった。営業利益は1,382億円で、前年度比80.7％増、前期比では6.3％減。純利益は998億円で、前年度同期比17.8％増、前期比で0.5％減。設備投資額は145億円となった。
半導体製造装置（SPE）売上高は4,678億円で、前年度同期比41.1％増、前期比6.8％増。営業利益は1,530億円で、前年度同期比79.2％増、前期比横這い（2億円増）となった。
地域別では日本11.5％、北米13.2％、欧州4.3％、韓国20.0％、台湾21.9％、中国23.3％、アジア・その他が5.7％。
新規装置のアプリケーション別比率は、DRAM29％、不揮発メモリ18％、ロジック/ファウンドリ/その他が53％。
フラットパネルディスプレイ製造装置（FPD）売上高は125億円で、前年度同期比42.1％減、前期比からも10.6％減となった。
フィールドソリューション事業の売上高は1,205億円。このうちSPE向けは1,173億円、FPD向けは31億円となった。
2021年度の上期売上高は前年度比39.6％増の9,325億円、営業利益は同86.3％増の2,746億円、純利益は同78.7％増の2,002億円となった。SPE売上高は同42.5％増の9,057億円、FPD売上高は同18.2％減の266億円となった。
2021年度通期に関しては、全社売上高は前年度比35.8％増の1兆9,000億円。SPEが同39.9％増の1兆8,400億円、FPDは同28.3％減の600億円と予想している。SPEのアプリケーション別比率は、DRAMが22％、不揮発メモリが23％、ロジックファンドリ／ロジック・その他が55％と予想している。