オランダASML社は2021年7月21日、2021年第2四半期（2021年4月〜6月）の業績を発表した。同期売上高は40億2,000万ユーロ、前年同期比20.8％増、前期比7.8％減となった。このうち装置販売高が約29億ユーロ、サポート、パーツなどインストールベースの売上高が約11億ユーロとなった。
新規受注額は82億7,100万ユーロ、そのうちEUVが約49億ユーロとなっている。アプリケーション別比率ではメモリが29％、ロジックが71％。受注台数は新品装置が156台（前期比46台増）、中古装置が11台（前期比1台増）となった。
営業利益は12億3,900万ユーロで、前年度同期比36.9％増、前期比20.6％減となった。純利益は10億3,800万ユーロで、前年度同期比38.2％増、前期比22.0％減となった。
システム別の売上高構成比率は、i線が1％、KrFが11％、ArF（ドライ）が5％、ArF液浸が34％、EUVが45％、検査・測定装置が4％となった。光源別の売上台数は、i線9台、KrFが31台、ArF（ドライ）が7台、ArF液浸が10台、EUVが9台となった。
アプリケーション別構成比率はメモリ28％、ロジック72％となった。地域別売上高は、韓国39％、台湾36％、中国17％、米国6％、日本1％、欧州・中東1％となった。
2021年度第3四半期（2021年7月〜9月）の売上高は52億〜54億ユーロと見込んでいる。このうち10億ユーロがインストールべースからのものになる見込みである。