東京エレクトロンは2021年4月30日、2021年3月期業績を発表した。同期の全社業績は、売上高が前年度比24.1％増の1兆3,991億円、営業利益は同35.1％増の3,206億円、純利益は同31.2％増の2,429億円となった。

半導体製造装置(SPE）事業の売上高は、同24.1％増の1兆3,152億円、FPD製造装置事業の売上高は同29.8％増の837億円となった。
SPE事業の地域別構成比率は、日本15％、北米11％、欧州5％、韓国21％、台湾19％、中国25％、東南アジア・その他4％となった。
SPE事業のアプリケーション別構成比（新規装置）は、対象全売上高9,631億円のうち、DRAM24％、不揮発メモリ26％、ロジックファウンドリ24％、ロジック＆その他が26％となった。

メモリでは、先端世代における生産能力増強に向けた積極的な投資を背景に、DRAM・不揮発性メモリ向けともに売上が大きく伸長した。ロジック/ファウンドリにおいても、最先端世代向けに加え、14nmから成熟世代にかけた幅広い世代への投資を継続し、安定した売上を残した。
SPE事業の製品別売上構成比（同）は、対象全売上高9,631億円のうち、コータ／デベロッパが25％、エッチング装置が38％、成膜装置が21％、洗浄装置が8％、ウェーハプローバが7％、その他1％となった。不揮発性メモリ向け投資の拡大を背景に、エッチングおよび成膜装置の売上構成比が増加した。
フィールドソリューションの売上高は、前年度比19％増の3,623億円となった。このうちパーツ・サービスの売上高が2,485億円、中古装置・改造が1,138億円となった。
2022年3月期については、全社売上高が前年度比21.5％増の1兆7,000億円、営業利益は同39.2％増の4,420億円、純利益は同35.9％増の3,300億円を予想している。SPE事業の売上高は同24.9％増の1兆6,430億円、FPD事業は同31.9％減の570億円を予想している。
研究開発費は前年度から234億円拡大した1,600億円、設備投資は62億円拡大して640億円とする計画である。