オランダASML Holdings（以下、ASML）社は2020年10月14日、2020年度第3四半期（2020年7月〜9月）業績を発表した。同期の全社売上高は39億5,800万ユーロで、前年度同期比32.5％増、前期比19.0％増となった。このうち、システム売上高が前年度同期比31.4％増の30億9,560万ユーロ（前期比26.9％増）、サービス＆フィールド・ソリューション事業が同54.8％増の8億6,240万ユーロ（同2.8％減）となった。
受注額は同60.5％増の28億6,800万ユーロとなった。このうちEUV装置の受注高は5億9,500万ユーロとなった。
利益面は、営業利益が12億1,590万ユーロで、前年度同期比82.6％増、前期比34.3％増。純利益は10億4,100万ユーロで、前年度同期比同68.5％増、前期比41.3％増となった。
システム売上台数は中古装置を含めて60台で、前期から１台減となった。新規装置売上台数は57台で前期から変わらず、中古装置が１台減の3台となった。中古装置を含む光源別システム売上台数は、i線が10台、KrFが23台、ArF（ドライ）が2台、ArF(液浸）が11台、EUVが14台となった。前期と比較すると、i線が3台増、ArF（ドライ）が5台減、ArF（液浸）が6台減、EUVが7台増となっている。
応用分野別の売上台数比率はロジックが79％、メモリが21％。前期と比較してロジック比率が大幅（17％ポイント）に拡大した。地域別比率は台湾47％、韓国28％、中国21％、米国5％、欧州/中東/アフリカが1％となった。
同期受注台数は73台、新規装置が67台、中古装置が6台となっている。アプリケーション別受注高比率はロジック86％、メモリ14％となった。
2020年度第4四半期（2020年10月〜12月）の売上高は36億〜38億ユーロと予想している。このうちフィールドサービスなどの既設装置ベースの売上高としては9億ユーロ前後を見込んでいる。総利益率は50％強を予想している。