SCREENホールディングスは1月29日、グループ会社3社と共同で、半導体ウエハやプリント基板向けの最新AI検査計測ソリューションを、新ブランド「SCRAIS(スクライズ)」として立ち上げることを発表した。2024年6月からの販売開始を予定している。

近年、半導体ウエハやプリント基板の検査工程では、人手不足や人件費の高騰などを背景に、人による目視検査から深層学習(Deep Learning)による画像認識などのAI技術を用いた検査システムへの移行が進められているが、こうしたシステムでは欠陥見逃しによる工数増加や、虚報と呼ばれる誤検出の影響による歩留まり率低下などが課題となっており、検査精度が高く、かつ虚報率の低い次世代検査システムが求められている。

こうした背景から同グループは、コア技術である画像処理技術とAI技術を融合させた「AIによる虚報フィルタリングシステム」の後継版を「SCRAIS」として展開することを決めた。現在は虚報削減率80%以上、欠陥見逃し率0.1%以下という、致命的な欠陥がないとされるレベルを顧客導入目標として、最適なアルゴリズムの構築、AIモデル開発にかかるラベル付け工数削減、ADC(自動欠陥分類)への深層学習の適用、検査時の設定工数削減などを進めている。

出典：株式会社 SCREENホールディングス　プレスリリース