SEMIと日本半導体製造装置協会(SEAJ）は、2021年4月12日、半導体製造装置（新品）の2021年世界総販売額が、2020年の712億米ドルから44％急増し、過去最高の1,026億米ドルとなったことを発表した。

地域別では、中国が前年比58％増の296億米ドルの販売を記録、4年連続成長で2020年に引き続き新品の半導体製造装置の最大市場となった。第2位の韓国の販売額は55%増の250億ドル、第3位の台湾の販売額は45%増の249億米ドル。欧州は前年比23％増となり、2020年に市場が縮小した北米も、2021年は17％増とプラス成長に転じた。東南アジア諸国を含むその他地域の販売額は79%増となっている。
装置分類別では、ウエハプロセス用処理装置の販売額が44%上昇し、その他前工程装置は22%増となった。組み立ておよびパッケージング装置は全ての地域で高成長を遂げ、87％増となった。テスト装置の販売額はトータルで30%増となった。