アルバックと国立大学法人東京工業大学（以下、東工大）は2021年9月22日、東工大大岡山キャンパス内に「アルバック先進技術協働研究拠点」を設置したことを発表した。研究拠点の設置期間は2026年9月までを予定している。拠点内に「研究企画室」を設け、幅広い研究テーマについて連携して取り組んでいく。

両者は、これまでも個別の研究で共同研究を進め成果を上げてきたが、さらに企業と大学という組織単位での連携を強めるために、東工大のオープンイノベーション機構の支援のもと、今回、共同研究拠点を設けるとこととなった。
開設時のテーマとして東工大科学技術創成研究院ゼロカーボンエネルギー研究所の赤塚洋准教授とプラズマ計測技術に関して、また、同研究院の熊澤逸夫教授とAI技術に関して共同で研究を進めることとなった。これらの研究により、東工大の持つプラズマ測定技術とAI技術を融合させ、これまで計測できなかったプラズマの状態を計測することで、まずプラズマプロセス装置の高性能化を目指す。また、異なる分野の研究室のシナジー効果で、個別の共同研究では得られない新たな研究成果が生まれることを期待している。
なお拠点長には赤塚准教授、副拠点長にはアルバック 先進技術研究所の清田淳也所長が就任する。