米KLA社は2021年6月22日、自動車用半導体製造工程の歩留りと信頼性の向上を実現するための新しい検査装置3機種およびインラインスクリーニングソリューションを発表した。
今回発表した新製品は、生産性を高めたパターン付きウエハ検査装置「8935」、ブロードバンドプラズマパターンウェ−ハ検査装置「C205」、パターン無しウエハ検査装置「Surfscan SP A2／A3」および、インラインPATスクリーニングソリューション「I-PAT」である。
「8935」は新しい光学系と検査対象外である疑似欠陥（Nuisance defect）検出を抑えることのできるDefectWise AIソリューションを採用した検査装置。量産時にさまざまな重要欠陥を捕捉できる。
「C205」は、研究開発と生産ラインの立ち上げなどに向けたパターン付きウエハ検査装置で、ブロードバンド照明とNanoPoint技術を採用したことで、重要な欠陥を高感度で検出できる。
「Surfscan SP A2／A3」は、DUV光学系と高度アルゴリズムを組み込んだ装置で、製造プロセスでの欠陥を発見し除去することができる。
「I-PAT」はKLA製の検査装置やデータ解析装置上で動作するツール。「8935」を含む8シリーズやPumaレーザスキャニング検査機で収集したデータを基に、欠陥の特徴を抽出。その上で、SPOT生産プラットフォームのカスタマイズされた機械学習アルゴリズムとKlarity欠陥管理システムの統計分析機能を活用して、母集団から外れている欠陥を識別。欠陥の可能性があるICチップを、ラインから排除することができる。