SEMIと日本半導体製造装置協会(SEAJ）が北米半導体製造装置企業と日本製半導体製造装置の2021年5月売上高（3ヵ月移動平均）を発表した。
同月の北米半導体製造装置企業の売上高は35億8,840万米ドルで、前年同月比53.1％増となった。前月に引き続き前年を50％以上上回る高成長となった。前月比は4.7％増で過去最高を更新している。半導体生産能力が切迫しており、全装置分野で好調を維持しているという。
同月の日本製半導体製造装置の売上高は3,054億500万円。前年同月比は48.6％増と大幅に伸長した。これにより2021年3月から3ヵ月連続で2桁成長となった。また、前月比では8.3％増と、こちらも2021年1月から5カ月連続でプラスとなった。