浜松ホトニクスは2021年3月3日、ウェーハ上のマイクロLEDの外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる「MiNY（マイニー）PL マイクロLED PL検査装置 C15740-01」を開発したことを発表した。2021年3月8日から国内外のLEDメーカーやディスプレイメーカーに向け販売を開始している。
今回、非接触、非破壊でLEDなどの特性を評価するPL計測法を実現。可視光とPLの2種類の画像から、ウェーハ上のマイクロ LEDの外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査することをできるようにした。
具体的には、マイクロ LED が形成された直径約150ｍｍ（6インチ）のウェーハを同装置にセットし、可視光像からマイクロLEDの欠けや傷などの外観情報を取得する。その後、PL による画像から輝度と発光波長の情報を取得し、これらを組み合わせて解析を行うことで良品と不良品を判定する。
今回、独自の光学設計技術により開発した光学部品を用いるとともにカメラの構成を工夫することで、ウエハ全面に形成されたマイクロLEDの輝度のみならず発光波長も、分光器を用いることなくPL像から同時に取得できるイメージングモジュールを開発、新製品に搭載している。