韓国メディアは、SKハイニックスが建設中の利川本社工場のM16ラインに、EUV露光装置の導入を開始したことがわかった。現在、EUV露光装置は主にロジック向けで、TSMCとサムスンで利用されているが、サムスンは既にDRAM向け（1z世代）にもEUV露光を適用した製品を出荷しており、SKハイニックスはそれに続いてのEUV化となる。

利川工場のEUVを適用した製品の出荷は早ければ上半期から開始すると見られる。