米SUSS MicroTec社は2020年12月15日、台湾・新竹サイエンスパークに新しい製造装置工場をオープンした。新工場はユーザの要求に柔軟に応えられるような構造となっている。工場面積は4,800m²、クリーンルーム面積は2,900m²。コータ／デベロッパ「SUSS ACS200」の製造を中心に運用する予定。従業員数は50名超で、ドイツ工場で研修を行う計画である。同工場での製造品は、2020年中に出荷される見通しである。新工場の稼働により、顧客のアプリケーション毎の様々な要求に応えられる体制の整備を図る。
同社は、2020年12月10日には、最新のインプリント・リソグラフィ・システム向けマスクアライナ「MA8 Gen5」を発表している。新製品は200mmウエハにまで対応しており、LED、MEMS/NEMS、マイクロオプティクス、オプトセンサなどの製造への応用が期待されている。