エッチング液の反応性を調整することによって、テーパーを付けたエッチングにも対応致します。

加工実績

テーパーエッチングの加工実績画像

形状例

テーパーエッチングの加工実績画像

形状例

8インチSiウエハに穴径2μm、20μm深さ狙いテーパエッチング
12インチSiウエハに穴径6μm、25μm深さ狙いテーパエッチング