ドライエッチングの技術を応用することで、
円錐型のSi突起形状や円柱Φ10μm形成など、
特殊形状のパターンエッチングに対応します。

対応スペック

基板サイズ Φ4インチ～Φ300㎜
形状例 円錐、円柱、角柱などその他
既存マスク 要問合せ

実績写真

円錐形状の写真

円錐形状


角柱形状の写真

角柱形状


Chart patternの写真

Chart patternn