SCREENセミコンダクターソリューションズは2022年12月6日、ベルギーimecと共同開発契約を更新したことを発表した。今回の合意により、SCREENのウエハ洗浄技術をはじめとした専門的知見と、imecが有する先端半導体技術との相乗効果によって、技術開発を推進する。
SCREENは2002年1月からimecのIIAP (imec Industrial Affiliation Program)に参加して以降、20年以上にわたり共同開発を継続実施し、その範囲を拡大してきた。さらに2022年5月からは、imecが進める半導体業界全体の環境負荷低減に関する新たな研究プログラム「SSTS（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems）」にも参画している。
今回の共同開発は、幅広い開発プログラムを持つimecと、洗浄装置やコータ／デベロッパを中心とした半導体製造装置のコンセプトや実現可能性を検証し、プロセス開発を加速させる。また、SSTSプログラムを活用した当社のサステナビリティ活動の拡大、半導体エコシステムにおけるimecのネットワークを通じたコラボレーションの活性化を目指す。2023年にはSCREENの枚葉式洗浄装置「SU-3200」をimecに納入し、技術者を派遣するなど、imecと共同評価を行っていく。