半導体製造装置国内最大手の東京エレクトロンは2022年5月12日、2022年3月期の第4四半期（2022年1月〜3月）及び通期の業績を発表した。
同四半期の全社業績は、売上高が5,648億1,700万円で、前年度同期比28.6％増、前期比11.5％増となった。営業利益は1,685億7,900万円で、前年度同期比52.8％増、前期比8.0％増、純利益は1,268億3,000万円となった。
このうち、半導体製造装置事業（SPE）の売上高は5,492億7,800万円で前年度同期比32.2％増、前期比12.4％増となった。SPEの地域別売上高は日本が前年同期比6％増の569億2,700万円、北米が173％増の853億円、欧州が同207％増の571億7,000万円、韓国が同5％減の956億1,400万円、台湾が同20％増の1,063億3,000万円、中国が同16％増の1,188億300万円、東南アジア、その他が43％増の287億6,800万円となった。売上高の製品分野別売上高構成比率は、ロジック・ファンドリ／その他向けが58％、不揮発性メモリ向けが17％、DRAM向けが25％。
FPD製造装置事業（FPD）の売上高は155億700万円で、前年同期比34.6％減、前期比でも12.1％減となった。
フィールドサービス事業の売上高はSPEが1,211億円、FPDが28億円、合計で1,240億円となり、前年度同期比20％増となった。

通期の業績では、売上高が前年度比43％増の2兆38億500万円、営業利益が86.9％増の5,992億7,100万円、純利益は同75％増の4,370億7,600万円で、大幅な増収増益となった。研究開発投資は過去最大の1,582億円、設備投資も572億円で過去最大となった。
SPE事業は売上高が同114％増の1兆9,438億4,300万円、営業利益は同84％増の6,674億3,700万円となった。SPE事業のうち新規装置売上高は同55％増の1兆4,990億円。装置分野別構成比率はコータ／デベロッパが23％、エッチング装置が39％、成膜装置が21％、洗浄装置が11％、ウェーハプローバが5％、その他が1％となった。これら全ての装置分野で前年度の売上高を上回っている。アプリケーション別構成比率はロジック・ファンドリ向けが53％、不揮発性メモリ向けが21％、DRAM向けが26％となった。
フィールドソリューション事業の売上高は同26％増の4,559億円。このうち、中古装置・改造が同37％増の1,563億円、パーツ・サービスが同20％増の2,996億円となり、こちらも増収となった。成熟世代の装置に対する需要が活発で、改造の売り上げが大きく伸びた。
FPD事業は売上高が同28％減の598億3,000万円、営業利益は同57％減の38億7,400万円と大幅な減収となった。
2023年3月期の予測では、全社売上高が前年度比17.3％増の2兆3,500億円、営業利益は同19.5％増の7,160億円、純利益は同19.7％増の5,230億円としている。
SPE事業の予測では、売上高は同18.1％増の2兆2,950億円、FPD事業が同8.1％減の550億円と予想している。