リソグラフィ装置大手の蘭ASML Holdings社は2021年10月20日、2021年度第3四半期（2021年7月〜9月）業績を発表した。同期売上高は52億4,100万ユーロで、前年度同期比32.4％増、前期比30.4％増となった。受注額は61億7,900万ユーロで、そのうち29億ユーロをEUVリソグラフィシステムが占めている。
営業利益は19億1,900万ユーロで、前年度同期比57.8％増、前期比54.9％増。純利益は17億4,000万ユーロで、前年度同期比63.8％増、前期比67.6％増となった。
製品別売上台数はi線装置が7台、KrF装置が30台、ArF（ドライ）が6台、ArF（液浸）が21台、EUVが15台となった。売上高構成比率はi線装置が1％、KrFが7％、ArF(ドライ）が3％、ArF（液浸）が32％、EUVが54％、検査／測定装置が3％となっている。なおArF（液浸）装置は、同四半期中に累積1,000台の出荷を達成している。
エンドユーザ別売上高構成比率はメモリ39％、ロジック61％。受注額構成比率はロジック84％、メモリ16％、新品の受注台数は168台、中古装置の受注台数は10台となっている。地域別売上高構成比率は、台湾46％、韓国33％、中国10％、米国10％、日本1％となった。
2021年第4四半期見通しは、売上高が49億〜52億ユーロ、サポート／パーツ販売などインストールベースの売上高は11億ユーロを上回ると見込まれる。営業利益は51〜52％と予想している。2021年通期では前期比35％増を見込んでいる。