韓国のメモリ大手 SK-Hynix社は2021年7月12日、1αnmプロセスでの8ギガビット（Gb） LPDDR4 DRAMの製造を開始したことを発表した。製品としては2021年後半からの出荷開始を予定している。1αnmプロセスは、1X、1y、1zに続く第4世代の10nmプロセスとなる。
この製造にはEUVリソグラフィを採用している。1ynmプロセスから一部採用していたが、量産への本格的な導入は初めてとなる。同社のCho Youngmann副社長は「EUVリソグラフィを使った1αnmプロセスによる量産製造は、単に生産性の向上、コスト競争力の強化を実現するだけでなく、SK-Hynixのリーディング・テクノロジー企業としての地位を確かのものにする」とコメントしている。

他のDRAMメーカーでは、最大手の韓Samsungが20年3月にEUVを使用した1αnm相当の製品の量産を開始した。
米Micronは2021年1月に一足早く1αnm世代の量産を開始したが、1αnmの次の世代である1βnmまでEUV露光装置は使用しないとしている。