オランダASML Holding社は2021年4月21日、2021年度第1四半期（2021年1月〜3月）業績を発表した。同期売上高は前年度同期比78.8％増の43億6,390万ユーロとなった。このうちシステム販売の売上高は同97.5％増の31億2,880万ユーロ、サービス＆フィールドソリューションの売上高は44.2％増の12億3,510万ユーロとなった。
製品別（光源別）売上高構成比率は、EUVが36％、ArF（液浸）が47％、ArF（ドライ）が2％、KrFが11％、i線が1％、検査・測定が3％となっている。台数ベースではEUV7台、ArF（液浸）が24台、ArF（ドライ）が4台、KrFが35台、i線が6台。また、新品売上台数は100台、中古装置売上台数は10台となった。EUV露光装置の販売先は、TSMC、Intel、SK Hynix、Samsungとなる。
アプリケーション別比率（システム販売）はメモリ22％、ロジック78％となった。地域別売上高は、韓国44％、台湾43%、中国15％、米国3％、日本1％となっている。
営業利益は同約3.8倍（275.8％増）の15億6,090万ユーロにまで拡大した。純利益は同約3.4倍増（240.9％増）の13億3,100万ユーロとなった。
2021年度第2四半期（2021年4月〜6月）の見通しは、売上高が40億〜41億ユーロ。このうち、サービスなどのインストールベースが9億ユーロと見込んでいる。総利益率は49％超を計画している。