ウエハ上に形成された解析用パターンをTEG (Test Element Group)と呼び、異なるパターンの回路から、
特性評価を実施して設計、製造上で発生する不良の解析に使用されます。

対応スペック

TEGウエハの対応スペック画像

BDⅱx ／TEOS-Ru754
RuとCuのCMP材料評価が可能です。


TEGウエハの対応スペック画像

BDⅱx ／TEOS-Co754
CoとCuのCMP材料評価が可能です。