・GNCでは2インチ（50mm）から12インチ（300mm）450ｍｍまでの各種ダミーウエハー/プライムウエハを提供しています。
・お客様のご利用用途やご要望に合わせてご提供しています。
・FZウエハで直径30mmから8インチ、0.1 〜 10kΩ/cm2を超えるような高抵抗ウエハが提供可能です。
・低コストの再生ウエハ・規格外の厚さなど特殊な仕様にも対応しております。

対応スペック

ウエハ種類 ダミーグレードウエハ プライムウエハ エピタキシャルウエハ 再生ウエハ
項目 Unit 標準仕様(Standard Spec)
ウエハサイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
直径(mm) 50±0.5 76±0.5 100±0.2 125±0.2 150±0.2 200±0.2 300±0.2
タイプ – P or N
結晶方位 – <100> / <111> / <110>
厚み ※1 μm 280 380 525 625 625 725 725
厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
抵抗値 Ω・cm 1-30 / 1-50 / 1-100
オリフラ ※2 – ○ ○ ○ ○ ○ ノッチ ノッチ
パーティクル ≧0.3μm≦10ea / ≧0.2μm≦30ea / ≧0.2μm≦50ea ※指定も可能
面状態 – 片面ミラー 片面ミラー/両面ミラー 両面ミラー
販売数量 lot 25枚 ※在庫状況によっては端数販売
備考 ※1, ※2 : JEITA/SEMI規格どちらも対応可能
SIウエハの対応スペック画像