SCREENアドバンストシステムソリューションズ(SCREEN AS)とRistは3月13日、半導体ウエハやプリント基板向けの次世代検査システムの開発で連携し、3カ年計画で「次世代型AI検査モデル」の開発を開始したと発表した。

SCREEN ASは画像処理、ビックデータ分析、IoT、AI、ARなどを駆使したITソリューションを提供している。また、SCREENグループ内の事業会社に対し、半導体製造装置や検査装置向けのAIソリューションを展開しており、特に半導体ウエハやプリント基板の検査装置向けには、AIによる虚報フィルタリングシステムをはじめとする外観検査AIを開発・展開してきた。

従来の外観検査AIの活用には欠陥基準や素材、製造工程、製品種別ごとに学習データを準備し、個別のAIモデルを作成する必要があり、チューニング作業に大きな労力とコストがかかっていた。そこで同社は、従来の半分の学習データ量で高精度なAIモデルを作成するための独自技術や、大規模で高精度なAIモデルを製造現場で活用可能にする知識蒸留技術などを開発し、適用を進めている。また、2024年8月にはノーコードで高品質な画像処理AIを開発できるソフトウェア「SARIA」をリリースし、検査以外の分野にも同社技術を活用可能とした。

一方、Ristは画像AI事業とデータ分析事業を軸に、Deep Learningを用いたAI技術によるシステム開発、データ分析、プロダクトを顧客に提供している。同社は外観検査の省人化・省力化の加速化に向けて、「次世代型AI検査モデル」の研究開発を独自に進めてきた。

今回の連携により、SCREEN ASの持つ外観検査AI開発のノウハウやデータと、Ristの持つAIエンジニアリングスキルを組み合わせ、多品種少量生産の現場でも最小限のチューニング作業で高い検査制度を実現する「次世代型AI検査モデル」を確立することを目指す。

SCREEN ASの豊福英雄社長は今回の連携について、「SCREENグループが開発している装置をはじめ、さまざまな装置の高度化を達成するための重要な一歩だ」とし、「次世代型AI検査モデルの開発を通じて、外観検査工程のさらなる効率化の実現を目指す」と述べた。

一方、Ristの長野慶社長は、SCREEN ASが長年蓄積してきた検査分野のデータや知見を活用し、活動を開始したばかりながら、「技術のイノベーションが進んでいることを実感している」と述べた。