日本半導体製造装置協会(SEAJ）は2022年6月23日、2022年5月の日本製半導体製造装置売上高（3ヵ月移動平均）を発表した。

同月売上高は3,077億1,800万円で、前年同月比0.8％増にとどまった。前年同月比が1％を下回るのは2020年11月以来18カ月ぶりとなった。2022年4月売上高も前年比8％増と一桁成長に止まった。前月比も4月の前年割れ（2.8％減）から回復したものの、ほぼ横這い（0.5％増）となっている。
売上規模は3,000億円を上回っており好調ではあるものの、2022年に入ってから前年比成長率は低下が続いており、4月、5月で成長の減速が明らかになってきたと見られる。半導体をはじめとする調達部品サプライチェーンの影響から、装置製造の拡大が思うように進んでいないことが原因と考えられる。