キヤノンは2020年7月28日、2020年度(2020年12月期）第2四半期および上期の業績を発表した。
第2四半期の全社業績は売上高が前年度同期比25.7％減の6,733億1,500万円、営業損益は177億5,500万円の損失（前年度は835億5,300万円の利益）、純損益88億3,500万円の損失（同345億1,900万円の利益）となった。
同年度上期業績は、売上高が前年度同期比17.8％減の1兆4,556億2,700万円、営業利益は同81.9％減の151億2,200万円、純利益は同71.9％減の272億8,800万円となった。
露光装置の第2四半期売上高は前年度比38.1％減の281億円となった。半導体向け装置の売上台数は31台（前年実績21台）、FPD装置が4台（同15台）。半導体向け装置のうちKrFが4台（8台）、i線が27台（同13台）となった。
2020年度通期の露光装置売上高予想は前年度比3.7％減の1514億円と予想している。台数は半導体向けが131台、FPDが35台。光源別半導体向け露光装置売上台数見通しはKrFは27台、i線が104台としている。