東京エレクトロンは12月11日、300mmウエハ製造プロセス向けのウエハ薄化装置「Ulucus G」の販売を開始したと発表した。

同装置は、シリコンウエハへの平坦化要求と、シリコンウエハ製造工程における人手不足を背景とした装置内での連続工程化と自動化のニーズに対応するため、同社が独自に開発した研削加工ユニットを、塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォーム「LITHIUS Pro Z」に融合させ、ウエハの高品質化と量産における省人化を同時に実現する。

同装置は新規開発した研削加工ユニットに、同社がこれまでに開発した枚葉洗浄装置の洗浄技術を生かしたスクラブ洗浄ユニットとスピンウェットエッチングユニットを組み合わせており、すべてのユニットが枚葉加工をおこなうため、ウエハごとの品質コントロールが可能となっている。また、装置内に検査ユニットを組み込み、「高平坦度」、「低ダメージ」、「クリーン」なウエハ製造を人のスキルに依存することなく実現できるとしている。

同社のATS BUGM、佐藤陽平氏は、「今後も顧客のニーズに貢献するべく技術開発と製品投入を続けていく」と述べた。

同社ではこれまでも、2022年にUlucusシリーズとして、300mm 三次元高密度実装デバイス向けにドライプロセスでレーザエッジトリミング加工行う「Ulucus L」を販売するなど、Siウエハの加工向け装置ラインナップを増加させている。