2023年9月26日、日本経済新聞は、オランダの露光装置最大手ASMLが、北海道千歳市の周辺に技術支援拠点を設立すると報道した。

これは、日本企業で初めて同社のEUV露光装置を購入した顧客であるRapidusの生産拠点との連携を視野に入れたものとなる。主にRapidusを支援するためのカスタマーサポートの技術者を40〜50名程度配置するという。

これまで同社では、半導体工場が近い熊本、長崎、鶴岡、四日市、北上、そして今度MicronがEUV露光装置を導入する広島に拠点を置いて半導体メーカーのサポートを行ってきた。

既にプロジェクトは動き出しており、現在はASMLを支援する関連企業の選定が行われている模様である。