東京エレクトロンデバイス株式会社は、2023年9月14日、日本エレクトロセンサリデバイス株式会社からウエハ検査装置事業を譲り受けることを発表した。事業の譲り受け日は2023年10月2日を予定している。

日本エレクトロセンサリデバイス株式会社では産業用小型カメラや、画像処理検査装置、その周辺機器を主に販売している。

東京エレクトロンデバイスでは、ウエハ検査装置の拡充及び検査技術の強化を行い、海外への事業展開を加速することで、将来の更なる事業領域の拡大と収益性の向上を図るのが狙い。なお、24年3月期の業績への影響は軽微としている。