ニデックインスツルメンツ株式会社は、2023年8月29日、ウエハ搬送用ロボットの新型「SR7163 Series」を発表した。

「SR7163 Series」はハンドの水平移動にアームリンク構造を用い、最小6.5mmの狭ピッチまで適用可能な最小回転半径が小さいロボット。また、気密性の高いリンクタイプのアームを採用しており、業界トップクラスの清浄度クラスであるISO14644-1の清浄度クラス1に対応しているという。

同製品は半導体製造装置の中でも、バッチ式熱処理装置など、多数の基板をスロットピッチの違うステージへの移載を必要とする工程への採用を見込んでいる。