株式会社東京精密は、2023年7月3日、建設を進めていた飯能工場を竣工したことを発表した。近年の半導体市場の高まりによって、製造装置市場も生産余力が無くなってきたこともあり、2021年12月から建設を行なっていた。

同社の半導体製造装置は八王子の本社横にある八王子工場で生産されてきたが、飯能工場の稼働によって、半導体製造装置の生産キャパシティは50%アップするという。

新工場では主にウエハプローバが生産される。ウエハプローバは生成AIなど、チップの高性能化に伴い、今後益々テスタの検査時間が必要になることから、市場の拡大が見込まれている。