2023年5月23日、経済産業省は外為法に基づいた貨物等省令の改正を公布し、新たに先端半導体製造装置など23品目を輸出規制の対象に加える。2か月の周知期間を経て7月23日に施行となる。

対象品目は洗浄（3品目）、成膜（デポジション）（11品目）、熱処理（アニール）（11品目）、リソグラフィ（4品目）、エッチング（3品目）、検査（1品目）であり、これら貨物を使用するために設計されたプログラムも対象に含まれる。これにより、レーザーテックのEUVマスク用検査装置、東京エレクトロンのコータ/デベロッパ、エッチング装置、洗浄/ウェット処理装置、SCREENの枚葉式洗浄装置、KOKUSAI ELECTRICのアニール装置、アルバックのスパッタリング装置、日立ハイテクのエッチング装置、ニコンのArF液浸露光装置、三井化学のEUV用ペリクルとその製造装置等がこれに含まれる。

省令施行後は対象品目の輸出時に、経産省からの個別許可が必要になる。米国、韓国、台湾、シンガポールなど42か国・地域に対しては簡素化された手続きが可能となるが、中国はこれに含まれておらず、事実上中国を対象とした規制となる。米国が昨年10月に半導体技術や装置などの対中輸出を事実上禁止し、オランダもEUV露光装置の輸出を既に制限しており、日本もこれに足並みを揃える形となった。

これらの技術の軍事転用を防ぐことが狙いとみられているが、対中取引の停滞による製造装置市場のへの影響が懸念されている。