米Intel社は2022年12月22日、アイルランドのFab34にEUVリソグラフィシステムを導入、量産での使用を開始したことを発表した。最先端プロセスであるInte 4による製造に利用している。Intel4は、7nmノードの改良版にあたり、他社の4〜5nmノードとほぼ同等のプロセスである。Fab34での量産にむけて米オレゴン州のD1Xにおいて量産技術としての開発を行っていた。
IntelではIntel4プロセスを次期クライアントPC向けプロセサ「Meteor Lake」の製造に応用する計画である。Meteor Lakeはチップレット統合で構成されるが、その中核となるCPUコアチップの製造に同プロセスを使用する。