東京エレクトロンは2022年12月12日、新型の洗浄装置「CELLESTA MS2」の販売開始を発表した。「CELLESTA MS2」は、2流体スプレーおよびブラシによる物理洗浄機能を備えた枚葉式洗浄装置。両面同時処理が可能で、両面処理時の単位面積当たりの生産性は従来装置より1.5倍以上(当社比)となっている。同時に、従来は洗浄時に非洗浄面の保護のために使用していた純水やガスを使用しないことで、プロセス時の用力使用量の削減にも貢献する。また、独自のウエハ保持技術により、これまで課題であったウエハ最外周部およびベベル部分までの洗浄を可能としている。