昭和電工は2022年9月7日、8インチのSiCエピタキシャルウエハのサンプル出荷を開始した。国内メーカとしては初めてのサンプル出荷となる。SiCウエハには自社製ウエハを使用している。同社は2021年からSiCウエハの8インチ化を進めてきた。今回、パートナー各社からのSiCウエハの調達に加え、自社製ウエハを用いた製品開発にも取り組むことで、8インチ SiCエピウエハの生産拡大や安定供給体制の構築、品質のさらなる改善を目指す。

なお、 同社は2030年までにSiCエピウエハとその原材料であるSiCウェーハの8インチかつ欠陥密度を1桁以上低減することを目標に、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構のグリーンイノベーション基金事業 次世代デジタルインフラの構築プロジェクトの研究開発項目の一つである「次世代パワー半導体に用いるウェハ技術開発」において、「次世代グリーンパワー半導体に用いるSiCウエハ技術開発」として研究開発を実施している。