荏原製作所は2022年8月12日、2022年度上期（2022年1月〜3月）業績を発表した。半導体製造装置関連を中心とする精密・電子事業の業績は、売上高が前年度同期比21.5％増の960億1,700万円、営業利益は同56.4％増の139億2,600万円となった。受注高は同40.8％増の1,646億1,300万円となっており、下期も高い成長率が期待できる。
同事業のうち、真空ポンプを中心とするコンポ—ネント事業の同期売上高は前年度比22.1％増の458億円、CMPが同21.1％増の388億円、めっき装置などその他装置が15.4％増の30億円となった。
また、同事業の地域別売上高は、日本が同9.7％減の213億円、日本を除くアジア地域が同27.1％増の548億円、北米が同37.0％増の111億円、欧州が134％増の82億円、その他地域が同1億円減の4億円となった。
2022年通期計画は、精密・電子事業全体で前年度比24.5％増の2,400億円、コンポーネントが同35.3％増の1,115億円、CMPが同18.2％増の1,225億円、その他が同9.1％減の60億円となっている。2022年5月時点の見通しを比較すると、コンポ—ネントが195億円増加、CMPが205億円減少、その他は10億円拡大となっている。