JSR子会社の、米Inpria社は、金属酸化物レジストの応用研究を、韓国のメモリ大手 SK Hynix社の最先端DRAM製造のための応用研究が進んでいることを発表した。

同社は、JSRによって、2021年9月に買収され、完全子会社となった。

金属酸化物レジストは、今後さらなるEUV露光における微細化のためにベルギーの研究機関であるimecなどで研究が継続されている。

SK hynixのR&D工程担当であるBK Lee氏は、「EUV技術を使用した製造技術はとても複雑であり、それを可能にする最先端の素材が必須です。酸化スズのレジストは性能だけでなく製造コストにおいても優位性があり、最先端DRAMチップを生産に必要となる可能性の高い素材です」と語る。

Inpria社は、前述のimecの微細化研究においても、開発用レジストとして用いられており、EUVリソグラフィーのメタルレジスト製造メーカのトップメーカーとなっている。