日本半導体製造装置協会（SEAJ）は2022年3月24日、2022年2月の日本製半導体製造装置の売上高を発表した。同月の日本製半導体製造装置の売上高（3ヵ月移動平均）は2,940億800万円で、前年同月比56.8％増となった。2021年1月以降、14カ月連続で前年同月を上回っている。前月比は4.0％減で、2021年10月以来4ヵ月ぶりに前年割れとなった。
同月の日本製FPD製造装置の売上高(同）は438億8,200万円となった。前年同月比は6.1％減で、2021年11月以降4年連続前年割れとなった。また、前月比は0.2％減で、2021年11月以来3ヵ月ぶりに前年割れとなった。