中国のデバイス大手Huaweiの100%株式保有の子会社である投資会社、中Hubble Technology Investmentが、光源メーカーの中Beijing RSLaser Opto-Electronics Technology（以下「RSLaser」）の株式を取得し、リソグラフィー装置への投資を開始した。

2021年6月2日、RSLaserの登録資本金が1億2,000万元から2億200万元に68％増加し、新規投資家には、Huawei傘下のHubble Technology Investmentが含まれている。Hubbleは、株式の4.76％を保有し、今回の増資で7番目に大きな株主になった。

RSLaserは、中国科学院のマイクロエレクトロニクス研究所によって管理されている。同社は、「国家02専項」の「エキシマレーザー技術」産業化のプロジェクトを実施し、液浸リソグラフィ光源の主要な技術研究と製品開発を行い、6kHzの繰り返し周波数で60Wのレーザー出力を達成し、世界で最もハイエンドのDUV（極端紫外光）リソグラフィー光源製品シリーズに参入している。同社は、中国で唯一の193nm ArFエキシマレーザー企業であり、海外メーカーの長期的な寡占を打ち破って、中国半導体産業の国産化を促進させた。

さらに、RSLaserは、中国国内のリソグラフィー装置メーカーである上海微電子（SMEE）の光源システムサプライヤーでもある。