スイスSTMicroelectronics社とOQmente社は2021年3月29日、MEMS技術を応用した超小型・超低消費電力のミラー式レーザビームスキャンシステム(LBS)の共同開発、共同製造を行うことで、合意に達したことを発表した。共同開発するシステムは拡張現実(AR)、3Dセンシングなどの分野への応用が期待されている。共同開発の対象は、MEMSミラー、MEMSドライバ、コントローラ、レファレンスデザイン、さらに開発ロードマップの開発も進める。
STMはMEMSセンサ、アクチュエータや関連するドライバ、コントローラなどのトップメーカ。MEMSの設計・生産で豊富な実績・経験を持つ。OQmentedは、独自に開発した3次元封止技術である Bubble MEMS technologysの産業化、量産化を目指しているベンチャー企業。Bubble MEMS technologysはMEMSマイクロミラーを真空中に密閉する技術。ガラスのバブルを利用して封止することで、環境の汚染をなくすと同時に反射によるMEMSミラーの機能低減を抑えることを可能にしている。