東京エレクトロンは2021年1月28日、2021年3月期第3四半期（2020年10月〜12月）業績を発表した。同期の全社売上高は2,954億円で、前年同期比1.3％減、前期比17.4％減となった。営業利益は628億円で前年度同期比2.9％減、前期比14.6％減となった。純利益は461億円で、前年度同期比6.5％減、前期比16.9％減となった。
半導体製造装置（SPE）事業の売上高は2,643億円で、前年度同期比6.3%減、前期比20.3%減。営業利益は679億円で、前年度同期比6.3％減、前期比20.5％減となった。韓国向け売上高が前期比で約半減したほか、日本向けが36.4％減、北米向けが21.6％減と売上を落としたことにより、売上高を前期から落とす結果となった。
SPEのアプリケーション別構成比率（新品装置）は、DRAMが26％、不揮発性メモリが19％、ロジックファウンドリが28％、ロジック＆その他が27％となった。フィールドソリューション売上高は906億円で、前年度同期比25.5％増、前期比14.5％増となった。
フラットパネルディスプレイ 製造装置（FPD）事業の売上高は273億円で、前年度同期比105.2％増、前期比26.7％増。営業利益は48億円で、前年度同期比3倍、前期比では2.3倍に拡大した。フィールドソリューション売上高は28億円で、前年度同期比5億円増、前期比では2億円増となった。
2021年3月期通期の業績見通しは、全社売上高が前年度20.6％増の1兆3,600億円。前回（2020年10月末発表）予想から600億円の上方修正となった。営業利益は同29.0％増の3,060億円、前回比で250億円の上方修正。純利益は同24.2％増の2,300億円、前回比で200億円の上方修正となった。
SPE部門の通期売上高見通しは同20.6％増の1兆2,800億円。FPD部門の売上高は同21.0%増の800億円となっている。
SPE部門の第4四半期売上高見通しは2,970億円で、DRAMが19％、不揮発性メモリが34％、ロジックは47％を見込んでいる。