朝日工業社は12月27日、精密空調機「ASC」シリーズの上位モデルとして、半導体やFPDの製造工程向けに温湿度をより精密に制御できる「高性能温湿調機」をリリースしたと発表した。

精密空調機「ASC」シリーズは精密な温度制御を実現したコンパクトな製品で、産業施設や研究施設など多岐にわたる新設・既設の工場で空調設備として使用されている。同シリーズの従来製品の温度制御は±0.5℃であったが、今回発表された上位モデルでは温度制御が±0.05℃、湿度制御は±0.5%RHの制御が可能となった。

同製品はRapidusが北海道千歳市内で建設中の工場の半導体製造工程用環境装置として受注しており、2024年12月中に納入されたとみられる。半導体露光装置周りの密閉空間に、温湿度を制御したエアーを供給することで、露光工程の生産性向上に貢献する。

同社は「これまで培ってきた超精密な制御技術を駆使して、今後も産業施設や研究施設など様々なお客様に最適空間を提供することで、さらなる販売拡大を目指す」としている。

なお、製品詳細については今後の公開予定としている。