キヤノンは2022年7月26日、2022年12月期業績を発表した。同期の全社売上高は前年度比13.3％増の9,987億9.900万円、営業利益は同27.4％増の984億7,500万円となった。プリンティング、イメージング事業が拡大を進め、業績を牽引した。
FPD向けを含む露光装置事業の売上高は前年比1.1％減の506億円となった。前年割れとなったのはFPD向け露光装置売上台数が半減したため。半導体向け露光装置の売上台数は前年度同期から10台増の40台となった。40台のうちKrF露光装置が12台、i線露光装置が28台となった。
露光装置の2022年年間売上見通しは、金額は同9.6％増の5,982億円、台数は236台（半導体+FPD）としている。半導体に関しては、前年度比40台増の180台を計画している。KrF装置が前年度比10台増の48台、i線露光装置が 同30台増の132台を計画している。同社では2023年以降の需要に応えていくため、要員の確保、生産スペースの拡張、装置の導入・据え付けのための体制強化も進めている。