日本半導体製造装置協会（SEAJ）は2022年4月25日、日本製半導体製造装置、FPD装置の2022年3月売上高（3ヵ月移動平均）を発表した。同月の日本製半導体製造装置の売上高は3,148億7,200万円で、前年同月比30.8％増、前月比7.1％増となった。2022年第1四半期（2022年1月〜3月）売上高は9,446億1,600万円となった。
同月の日本製FPD製造装置売上高は356億1,300万円で、前年同月比26.3％減、前月比18.8％減となった。2021年11月以降、5カ月連続で前年同月を下回ることになった。