東京エレクトロンは2022年3月31日、製造子会社である東京エレクトロン九州の合志事業所 (熊本県) に開発棟を建設することを発表した。新開発棟は地上三階建(一部4階）、延床面積が約2万4,200㎡を予定している。設備投資額は約300億円を計画し、2023年春の着工、2024年秋の竣工を予定している。

新棟では、世界シェアでトップを独走するコータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーションなどウェット処理関連装置の開発を行うことを予定する。